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分子泵常见故障问题维修方法

发布时间:2022-06-07      点击次数:65
  分子泵常见故障问题维修方法
  分子泵使用中,可能出现的故障,以下是故障原因及真空泵维修方法:
  1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
  原因:附近有光照或其他热源
  解决方法:避免光照或热源
  2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?
  原因:冷却不良,负载太大
  解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
  3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
  原因:负载太大,系统真空度不够
  解决方法:检查系统
  4、分子泵轴承为什么会烧毁
  原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
  解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
  5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
  原因:防护网破裂,前级管道破裂
  解决方法:优化系统设计
  6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
  原因:油池破裂或密封不良
  解决方法:检查油池
  7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
  原因:过热,负载大
  解决措施:检查冷却系,检查系统
  8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
  原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
  解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
  9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?
  答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等
  10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
  答:①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密
  11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
  答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境
  12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
  答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
  13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是佳方式?
  答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
  14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
  答:原因:电压低
  15、分子泵叶片破碎的原因:
  答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
  ①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
  ②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
  ③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
  ④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
  ⑤、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
  ⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
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