分子泵常见故障问题维修方法

　　分子泵常见故障问题维修方法

　　分子泵使用中，可能出现的故障，以下是故障原因及真空泵维修方法：

　　1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

　　原因：附近有光照或其他热源

　　解决方法：避免光照或热源

　　2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

　　原因：冷却不良，负载太大

　　解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

　　3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

　　4、分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

　　5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网破裂，前级管道破裂

　　解决方法：优化系统设计

　　6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池破裂或密封不良

　　解决方法：检查油池

　　7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

　　原因：过热，负载大

　　解决措施：检查冷却系，检查系统

　　8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

　　原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

　　解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

　　9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？

　　答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等

　　10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？

　　答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密

　　11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境

　　12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

　　13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

　　14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

　　答：原因：电压低

　　15、分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

　　②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

　　③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

　　④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　⑤、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

　　⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。