分子泵应该如何清洗？

分子真空泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子。使之压缩、排气的一种真空泵。

可分为：

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

分子泵应该如何清洗？

(1)关掉分子泵，进行排气。

(2)从设备上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分，以免影响密封性。

(3)卸下冷却器、润滑油包等。

(4)将分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一个盛有无水酒精的容器中，液面高度略低于前级真空接口。

(5)上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗。换掉无水酒精，加人新的无水酒精，最少要重复一次。每次在无水酒精中浸泡大概5~10min。

(6)取出分子泵，将高真空接口朝上，再缓慢放平，以便排出磁性轴承中的酒精。

(7)用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要损伤。

(8)接上前级真空泵，在关闭分子泵的情况下，利用前级泵抽真空，使真空度达到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中残留的无水酒精。

(9)因前级真空泵中有酒精，需更换前级泵真空油。

(10)接上分子泵开始工作，因为经过处理后，分子泵中仍有残留的酒精存在，因此第一次抽真空比较慢，属于正常情况。